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XYY对位系统平台的技术工作原理

时间:2020-10-24 分享到:
  XYY对位系统平台的技术工作原理

  供给至曝光位置自动XYY平台系统最新电流,包括移动对准模块固定板,所述移动板,该装置中,顶部的Y方向移动装置,在Y方向上的第二移动装置的X方向,X方向移动设备,顶部右和左Y方向移动装置和所述第二分型右和左Y方向为与位置模块固定板应对移动装置,所述移动板收敛活动,

  还包含企业设置在该对位模组固定板上的X方向发展动力技术设备、榜首Y方向主要动力机械设备和第二Y方向提供动力工程设备,X方向学习动力以及设备可以带动X方向通过移动电子设备沿X方向往复运动,X方向移动网络设备能够带动该运动板沿X方向往复移位,榜首Y方向动力控制设备带动榜首Y方向移动通信设备沿Y方向往复运动,榜首Y方向移动智能设备带动该运动板沿Y方向往复移位,第二Y方向动力设备带动经济第二Y方向移动互联网设备沿Y方向往复运动,第二Y方向移动医疗设备带动该运动板沿Y方向往复移位。

  所述X移动装置由X移动板组成,X移动板通过轴承运动与移动板连接,X移动板下端设有滑轨和滑槽。 滑轨沿对中模块固定板上的顶部固定板滑槽往复运动。

  首先,y 向移动装置包括顶 y 向移动板、顶 y 向移动板和运动板通过承载活动连接,顶 y 向移动板的底端面上设有滑轨和滑槽,滑轨沿对位模块固定板上的第二固定板滑槽往复移动,滑块位于轴承上方,滑块沿槽往复移动。

  第二Y方向移动装置包括一第二Y方向移动板,第二Y方向移动板通过一个支承板运动的活动接合时,下端面设置的第二Y方向移动滑轨和滑动板沿着第三滑动板位置固定因特网模块固定板的自动往复运动滑动,上轴承设置有往复沿滑槽移动的滑块

  X方向发展动力系统设备主要包含一个电机和与该电机进行固定衔接的偏心轮,该偏心轮与X方向以及移动板之间没有经过绷簧衔接,该绷簧消除该偏心轮与X方向移动板之间的空隙。

  顶部发电站,包括Y方向马达和固定在偏心适配器的电动机,通过在Y方向上的顶板的偏心运动之间的拉伸弹簧接合时,弹簧被拉伸以消除偏心和Y之间的间隙 - 方向移动顶板。

  第二Y方向发展动力系统设备主要包含一个电机和与该电机进行固定衔接的偏心轮,该偏心轮与第二Y方向以及移动板之间没有经过绷簧衔接,该绷簧消除该偏心轮与第二Y方向可以移动板之间的空隙。

  新的有益效果:新曝光机XYY机构的对准系统由1台X轴向运动设备和2台Y轴向运动设备组成,使自动对准平台系统的运动更加顺畅。 新技术在曝光机对准系统上迈出了一大步。

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