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在测量对位平台时为何会出现精度偏差呢

时间:2021-01-21 分享到:

  因为要求对位平台具有高速度,高精度和大行程,并且高速大行程不可避免地给手动位移平台带来更大的惯性,所以难以实现高定位精度。步进电机与轴连接。关节驱动丝杠旋转,因此丝杠的返回误差是影响定位速度的主要因素。

  对位平台的精度主要受测量光栅分辨率的影响。来自光栅千分尺传感器的信号被放大和细化。细分后,分辨率达到约1μm。当然,可以增加细分,但会影响工作台的定位速度。考虑到工作台的定位精度,工作台的定位精度达到1μm。

  经过实验后,以及图6的误差曲线。这两个实验都是针对螺钉每前进1mm测得的误差值。无光栅反馈的误差曲线,误差范围为(-28.22?16.64)μm,平均误差为-5.82μm。

  再加上光栅反馈信号后的误差曲线,误差范围为为-0.06μm。显然,手动位移平台的定位精度已大大提高。

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